离子束蚀刻结构-真空系统的特征

真空系统包括一个水平真空室，200个高真空挡板阀，200个单盲水冷挡板，K-200T油扩散泵，储气罐，三通阀，电磁带通风真空截止阀，2XZ -8型高速旋片机械泵。电磁放气阀，真空管道和真空检测系统（ZRC-1J阻磁放电复合真空计，电阻计，冷量计）等。真空系统的示意图如图10-43（a）和（b）所示。 。